Toote omadused
Mitme versiooni (PLC/PC) ja erinevate tavaliste sideprotokollide toetamine;
Projekteerimine ja tootmine teostatud vastavalt SEMI ohutus tootmisstandardile;
Suur kanalite projekteerimisvõimsus, UPH400 ~ 550 tk;
Sobib mitme tootemõõtme ja ajakirjade jaoks;
MFC vahvli tasemel patenteeritud disain, mis hoiab ära gaasilekke, mis põhjustab ohutusõnnetusi (toetab kõrge{0}}riskiga gaase, nagu vesinik);
Patenteeritud kõrge tihenduskambri disain, kuni 5pa;
Vee kokkupuute nurk<10° (related to the material of product surface);
Nelja kanali konstruktsioon 4 toote samaaegseks töötlemiseks, kahe põhjaga elektroodidega, mis vähendab plaadi sisenemise ja väljumise aega, parandab oluliselt tõhusust ja tagab toote ühtsuse töötlemisel.
tehnilised kirjeldused
|
Funktsionaalne konfiguratsioon |
Tehnilised parameetrid |
|
|
P × L × K (mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Varustus |
Netokaal (kg) |
1000 |
|
Perifeerne kliirens (mm) |
600 taga, 600 mõlemal küljel |
|
|
Kamber |
Maht (L) |
Umbes 9 |
|
Kanal (nr.) |
4 |
|
|
Alumine elektrood (tk.) |
2 (üleminekufunktsioon) |
|
|
Söötmisrežiim |
Ajakiri |
|
|
Kohanduva toote mõõtmed (mm) |
Laius:40-100 Pikkus:150-300 |
|
|
Elektrood |
Elektroodi mõõde (mm) |
528×300 |
|
RF toiteallikas |
Standardvõimsus (kW) |
1 |
|
Sagedus (MHZ) |
13.56 |
|
|
Gaasi juhtimine |
Kuni kolm kanalit |
2 kanalit (standard), 3 kanalit (valikuline) |
|
Juhtimissüsteem |
Inimese{0}}masina liides |
PC+puuteekraan |
|
Kaugliides |
Suhtlemine |
Valikuline |
|
Vaakumpump |
Valikuline kuivpump |
17CFM |
|
Valikuline õlipump |
195CFM |
|
|
Valikuline puhastusfunktsiooniga kuivpump |
JAH |
|
|
Lämmastiku puhastamise voolukiirus (SLM) |
2 |
|
|
Tolmuimemise aeg (S) |
10月15日 |
|
|
Vaakumi purunemise aeg (S) |
3-4 |
|
|
Tehase rajatised |
Toiteallikas |
Kolm-faasi 380V50/60Hz 4,5kW (õlipump) |
|
Protsessi mõõtmed ja tüüp |
1/4 tolline Swagelok |
|
|
Protsessigaasi puhtus |
Tööstuslik klass ja kõrgem |
|
|
Protsessigaasi rõhk (psig) |
10-20 |
|
|
Puhastusgaasitoru mõõtmed ja tüüp |
1/4 tolline Swagelok |
|
|
Puhastusgaasi puhtus |
Tööstuslik klass ja kõrgem |
|
|
Puhastusgaasi rõhk (psig) |
15 |
|
|
Pneumaatika mõõtmed ja tüüp |
10 mm tõuke-kinnitus |
|
|
Pneumaatilise gaasi puhtus |
Suruõhk, õli{0}}vaba, kastepunkt 7 kraadi või vähem, osakesed<5 |
|
|
Pneumaatilise gaasi rõhk (psig) |
70-90 |
|
|
Suruõhk (mm) |
∅8 |
|
|
Vastavus |
Sertifitseerimine |
SEMI |
|
Abiseadmed |
Lämmastiku generaator (valikuline) |
Valikuline lämmastiku puhastamiseks |
|
Vesijahuti (valikuline) |
Valikuline elektroodide jahutamiseks |
|
|
Vesiniku komplekt (valikuline) |
Valikuline vesinikuga töötlemiseks |
|
|
Heitgaasiprotsessor (valikuline) |
Valikuline fluori heitgaaside töötlemiseks |
|
|
Transport |
Kogukaal (kg) |
1050 |
|
Pakendite arv |
1 |
|
|
Pakend vastab SPM15 standardile |
JAH |
|
Kuum tags: VP-10S automaatne vaakumplasmatöötlussüsteem, VP-10S automaatne vaakumplasmatöötlussüsteem